維持一個穩定的無塵環境,不僅僅靠空氣過濾,還需要一個綜合系統:
1.空氣過濾系統:使用高效
過濾器(HEPA) 或超高效過濾器(ULPA) 來去除空氣中的顆粒。
2.氣流組織:
①單向流/層流:空氣以均勻的流速和方向平行流動,像一道“空氣活塞”,能迅速排除污染物。用于高等級(如 ISO 3-5)區域。
②非單向流/亂流:空氣以不均勻的速度和不平行的方向流動,通過稀釋作用降低顆粒濃度。用于較低等級(如 ISO 6-8)區域。
3.壓差控制:潔凈度高的區域對相鄰潔凈度低的區域保持正壓,防止污染空氣倒灌。
4.溫濕度控制:維持恒定的溫濕度,以滿足工藝要求并防止細菌滋生。
5.建筑材料:墻壁、地板、天花板必須光滑、不產塵、不積塵、易清潔。
6.人員和物料管理:
①人員:必須穿著專用的潔凈服(無塵服、手套、口罩、靴子等),并經過嚴格的培訓。
②物料:所有進入車間的物料都需要通過氣閘室并進行清潔。